文章摘要：凈化工程公司對于這類機(jī)房在廠房內(nèi)位置的安排，主要著眼于生產(chǎn)工藝布置的特點、要求和送、回風(fēng)管道的長短等因素。當(dāng)廠房面積不大、系統(tǒng)簡單、管線交叉不多時，可將送回風(fēng)干管布置在上部技術(shù)夾層
1、集中設(shè)置。凈化工程公司對于這類機(jī)房在廠房內(nèi)位置的安排，主要著眼于生產(chǎn)工藝布置的特點、要求和送、回風(fēng)管道的長短等因素。當(dāng)廠房面積不大、系統(tǒng)簡單、管線交叉不多時，可將送回風(fēng)干管布置在上部技術(shù)夾層；當(dāng)廠房的面積較大、較長，或者系統(tǒng)劃分較多時，宜沿廠房長邊布置機(jī)房、每個系統(tǒng)可以直接與所服務(wù)的潔凈室對應(yīng)排列；當(dāng)采用頂部技術(shù)夾層時，送回風(fēng)于管走向與屋頂承重構(gòu)件方向相平行，可以充分利用空間。有的凈化工程公司將機(jī)房設(shè)置在技術(shù)夾層的頂部，不僅縮短了風(fēng)管長度而且節(jié)省了用地。
2、分散設(shè)置，廠房面積較大或者潔凈生產(chǎn)區(qū)過于分散，集中設(shè)置機(jī)房使布置困難，在經(jīng)過技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后，也可分設(shè)幾處機(jī)房。凈化工程公司在技術(shù)改造工程中，往往因原有房屋空間條件所限，需將凈化空調(diào)設(shè)備分散設(shè)置在各潔凈室的附近。分散設(shè)置方式的風(fēng)管短，布置靈活，較能適應(yīng)和利用原有空間，但在實際應(yīng)用時應(yīng)充分考慮噪聲與振動對產(chǎn)品生產(chǎn)可能帶來的影響。
3、混合設(shè)置，在某些工程中，既使用集中式凈化空調(diào)機(jī)房供大部分潔凈生產(chǎn)區(qū)安裝的，凈化空調(diào)裝置，又對特定局部空間使用分散式的凈化空調(diào)裝置，滿足生產(chǎn)工藝的需要，它兼有集中式與分散式的特點，更加經(jīng)濟(jì)靈活，適應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。
近年來，
凈化工程廠家在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用潔凈廠房中常常采用隧道式送風(fēng)、集中送風(fēng)和風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)送風(fēng)方式，各類機(jī)房的布置基本采用“混合設(shè)置”的方式，即新風(fēng)處理機(jī)集中設(shè)置，循環(huán)空氣機(jī)組分散設(shè)置。
